VLSIリサーチ社:2007年 CSR(顧客満足度調査)の 10 BEST 発表

世界半導体製造装置産業の専門調査会社・VLSIリサーチ社(本社・米国・カルフォルニア州、日本窓口・Mテクノロジー・パートナーズ・東京都品川区)は、2007年の世界半導体製造装置企業の顧客満足度調査(CSR)の速報値ランキングを発表しました。
同調査は過去約20年にわたる歴史のある調査で、毎年、世界の約44,000件の及ぶデバイスメーカーのプロセス技術者を調査対象として装置メーカーの装置別満足度調査を分析している世界唯一のデータです。
同CSRは装置性能(購入維持管理費、ソフトウエア、製品のスル-プット、品質等)、顧客サービス(メンテナンス、補修部品のサポート等)計13項目について各装置別の満足度やその他の評価を調査したものです。
顧客満足度の分析結果の一つとして、装置メーカーのカテゴリー区分を下記の6つに分類して発表しています。

 1. 前工程装置部門(前工程装置の売上げベスト15社を対象)
 2. 前工程装置部門(前工程装置の売上げベスト15位以下の企業を対象)
 3. テスト装置部門
 4. マテリアルハンドリング装置部門
 5. プロセス評価・診断装置部門
 6. アッセンブリ装置部門

さらに、VLSIリサーチ社が毎年実施している半導体装置の売上げをもとに、

 1. Large Supplier(全装置の売上げベスト15社を対象)
 2. Focused Suppliers(全装置の売上げベスト15位以下の装置メーカー対象)

同ランキングは全ての装置メーカーを対象にしてデバイスメーカーから満足度を調査していますが、回答数が基準以下となった装置メーカーはランキングの対象にはならないという条件があります。また、公平さを期すために、VLSIリサーチ社では第三者機関を使用してアンケートの発送、集計を実施しています。さらに、8月末予定している詳細な分析結果は同顧客満足度に参加している企業にのみ情報提供を行い、装置開発、マーケティングの資料として活用されています。
なお、今回の調査手法として、これまでの回答数の単純平均から、調査回答のデバイスメーカー別に集計した平均加重方式から解析を行っています。
2007年の回答数は下記の通りです。

2007年
 総調査対象数
48,255
 有効回答数
4,594
 回答率
9.5%
地域別回答数
 アジア
35%
 アメリカ
30%
 欧州
21%
 その他
14%


装置別の10BEST

前工程プロセス装置(前工程装置売上げ上位15社)
Rank
Company
Overall Rating

1
Varian Semiconductor
US
8.12
2
ASML
Europe
7.71
3
Hitachi High-Technologies Corporation
Japan
7.59
4
Dainippon Screen Mfg.Co., Ltd.
Japan
7.38
5
Novellus Systems,Inc
US
7.32
6
Tokyo Electron Limited
Japan
7.16
7
ASM Internaional N.V
Europe
6.89
8
Lam Research Corporation
US
6.77
9
Hitachi Kokusai Electric Inc.
Japan
6.69
10
Nikon Corporation
Japan
6.60



前工程プロセス装置(前工程装置売上げ上位15社以下)
Rank
Company
Overall Rating

1
JEO ltd
Japan
8.80
2
Rite Track
US
8.08
3
Nissin Ion Equipment Co.,Ltd
Japan
7.93
4
Centrothem Themal Solutions
Europe
7.75
5
Oerikon Barlzers Coating/Systems
Europe
7.72
6
SEN Corporation
Japan
7.65
7
CHA Industries
US
7.58
8
Oxford Instruments
US
7.52
9
MRL Industries,Inc
US
7.51
10
EV Group
US
7.44



テスト装置
Rank
Company
Overall Rating

1
Inovys Corporation
US
7.98
2
Nextest Systems Corporation
US
7.90
3
Advantest
Japan
7.49
4
LTX Corporation
US
7.48
5
Teradyne, Inc
US
7.28
6
Verigy
US
6.94
7
Credence Systems Corporation
US
6.92
8
Yokogawa Electric Corporation
Japan
6.85
9
Eagle Test Systems,Inc
US
6.78
10
FEI Company
US
6.71



マテリアルハンドリング装置
Rank
Company
Overall Rating

1
SUSS MicroTec
Europe
7.97
2
Cascade Microtech,Inc
US
7.63
3
ACCRETECH-Tokyo Seimitsu
Japan
7.63
4
Advantest
Japan
7.48
5
Seiko Epson Corporation
Japan
7.42
6
Rasco GmbH
Europe
7.29
7
Tokyo Electron Limited
Japan
7.21
8
Multitest
US
7.18
9
Electroglas,Inc
US
7.13
10
TESEC Corporation
US
6.79



プロセス評価・診断装置
Rank
Company
Overall Rating

1
Carl Zeiss SMT AG
Europe
8.12
2
Nikon Corporation
Japan
8.06
3
Keithley Instruments, Inc.
US
7.81
4
Agilent Techomlogies,Inc
US
7.71
5
Hitachi High-Technologies Corporation
Japan
7.25
6
JEOL Ltd
Japan
7.15
7
Applied Materials,Inc
US
6.97
8
Hamamatsu Photonics K.K
Japan
6.89
9
Vistec Semiconductor Systems
Europe
6.72
10
Nanometrics Incorporated
US
6.64



後工程装置
Rank
Company
Overall Rating

1
Orthodyne Electronics
US
8.36
2
Kulicke & Soffa Indsutries
US
8.02
3
ACCRETECH-Tokyo Seimitsu
Japan
7.95
4
Hanmi Semiconductor
Korea
7.93
5
ICOS Vision Systems Corporation N'
Europe
7.93
6
Advanced Dicing Technologies
Israel
7.76
7
Dage Precision Industries Ltd
Europe
7.73
8
Asymtek, a Nordson Company
US
7.72
9
BE Semiconductor Industries
Europe
7.68
10
ASM International N.V
Europe
7.63



全装置売上げ別の10BEST

Large Supplier of Chip Making Equipment
半導体製造装置の売上げ上位15社の企業)
Rank
Company
Overall Rating

1
Varian Semiconductor
US
8.12
2
ASML
Europe
7.71
3
Advantest
Japan
7.48
4
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd
Japan
7.38
5
Novellus Systems,Inc
US
7.32
6
Teradyne, Inc.
US
7.28
7
Hitachi High Technologies Corporation
Japan
7.22
8
Tokyo Electoron Limited
Japan
7.17
9
ASM International N.V
Europe
7.16
10
Lam Reseach Corporation
US
6.77



Focused Suppliers of Chip Making Equipment
(半導体製造装置の売上げ15位以下の企業)
Rank
Company
Overall Rating

1
Orthodyne Electronics
US
8.36
2
PVA TePia AG
Europe
8.32
3
Carl Zeiss SMT AG
Europe
8.12
4
Rite Track
US
8.08
5
Kulicke & Soffa Industries
US
8.02
6
Inovys Corporation
US
7.98
7
BTU International,Inc
US
7.96
8
Hanmi Semiconductor
Korea
7.93
9
ICOS Vision Systems
Europe
7.93
10
Nissin Ion Equpment Co., Ltd
Japan
7.93



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